一块即将被封装进企业级固态硬盘的闪存晶圆,在2019年洁净室灯光的映照下,其表面精密堆叠的微观结构标志着半导体制造业攀登的一个新高度。

如今市场上动辄200层、300层的3D NAND闪存技术已然不是新闻,但回望2019年,当SK海力士宣布其72层3D NAND正式进入批量生产时,整个行业为之振奋-5

这一节点不仅仅是数字上的叠加,更是存储技术从艰难探索迈向成熟量产的关键转折点,为今天我们享用的海量数据存储奠定了基础。


01 技术演进

3D NAND技术的出现本身就是一场存储革命。在平面NAND技术达到15纳米工艺极限后,半导体行业不得不寻找新的出路-7

就像在土地有限的区域,建筑商开始建造摩天大楼而不是单层房屋一样,存储芯片制造商将存储单元垂直堆叠起来,开辟了存储密度的新维度。

早在2017年,行业主要厂商就已经在竞相研发64层及以上的3D NAND技术。三星、东芝等大厂纷纷展示了技术路线图,而SK海力士的72层设计在当时确实走在了行业前列-10

这一技术突破不仅仅是层数的增加,更意味着在相同的芯片面积上,存储容量可以大幅提升,同时降低每比特存储成本-3

02 工艺攻坚

量产72层3D NAND绝不是简单的数字游戏。从技术图纸到工厂流水线,工程师们需要克服前所未有的制造难题。

随着堆叠层数增加,刻蚀工艺面临严峻挑战。通道孔的深宽比(孔深与孔径之比)急剧增加,给离子蚀刻工艺带来巨大压力-6

研究人员发现,降低等离子体频率能够减小离子角分布,提高离子到达高深宽比特征底部的可能性,这一创新为更高层数的堆叠铺平了道路-6

材料纯度控制也变得至关重要。在极端高深宽比蚀刻过程中,任何微小的污染都可能导致整个存储单元的失效-7

当时,制造商需要开发专门的湿法蚀刻化学品,以确保在堆叠通道的顶部和底部均匀去除特定材料,而不会损害其他结构-7

03 产品应用

SK海力士将这批量产72层3D NAND首先应用于企业级NVMe SSD产品线,瞄准了快速增长的数据中心市场-5

这些固态硬盘采用了72层堆栈的3D TLC颗粒,配备自研NVMe控制器,提供M.2和U.2两种规格-5

性能表现令人印象深刻——顺序读取速度最高可达3.2GB/s,随机写入速度最高可达160K IOPS,而功耗控制在不超过14W-5。与采用更早技术制造的SSD相比,新型产品的顺序读取性能提高了30%,随机写入性能提升了70%-5

04 市场效应

2019年正值云计算、人工智能和机器学习需求快速增长期,数据中心对存储设备的能耗问题日益关注-5

有调查显示,预计到2025年,大型数据中心的能耗将占全球能源总消耗量的五分之一,这使得低功耗存储设备变得尤为重要-5

SK海力士推出的低功耗企业级SSD正好满足了这一市场需求。公司不仅掌握了NAND闪存制造技术,还能独立完成控制器设计和驱动程序开发,实现了全链条自主生产能力-5

05 产业竞合

在SK海力士推进72层3D NAND量产的同时,全球存储市场竞争格局正在重塑。三星继续保持在NAND闪存市场的领先地位,份额达到36%-10

而东芝则因财务问题面临业务重组压力,美光和英特尔联盟也在加速技术追赶-10

与此同时,中国存储产业开始崭露头角。长江存储投资240亿美元建设武汉存储器基地,计划从32层3D NAND起步,逐步向64层技术迈进-10

这一系列动态预示着全球存储市场将迎来更加多元化的竞争格局。

06 技术展望

72层3D NAND的量产成功为后续技术发展奠定了坚实基础。就在产品推出不久后,SK海力士已经计划基于96层堆栈的“4D NAND”技术开发容量更大的16TB企业级SSD-5

随着层数不断增加,制造商开始探索更先进的技术方案。美光等公司开始研究晶圆键合技术,将CMOS外围电路晶圆与存储单元阵列晶圆分别制造后键合在一起,以优化整体性能-1

存储原理也可能发生根本性变革。研究人员正在探索将传统的“电荷陷阱”存储原理改为“铁电极化”,利用铁电薄膜的极化方向来存储数据,这有望显著降低工作电压,减少介质击穿风险-1


从存储芯片生产线上刚刚完成封测的72层3D NAND芯片,被整齐排列在特制托盘上准备出货。它们的诞生恰逢数据中心从机械硬盘向全闪存阵列过渡的关键期,也为全球存储市场的竞争格局埋下了新伏笔。

今天,当长江存储宣布其第五代294层3D NAND开始投产时-9,半导体行业早已跨过那个曾经令人振奋的72层里程碑。

人们更关注的是AI数据中心推动的332层技术突破-8,而那条曾经标志着技术高峰的生产线,已经在存储行业指数级增长的曲线上,化作了一个平缓的注脚。

网友问题与回答

网友“存储爱好者”提问:
我听说现在3D NAND都做到300多层了,为什么你们还要回顾72层这种“老技术”?这对我们现在选购SSD有什么实际意义吗?

很高兴看到你对存储技术发展这么关注!你说得没错,现在市面上的确已经出现了300层以上的3D NAND产品-8。但我们回顾72层技术,恰恰因为它是一个承前启后的关键节点。

从技术发展角度看,72层3D NAND的量产标志着这项技术真正走向成熟。在此之前,3D NAND制造成本高、良率低,主要还是实验室里的“炫技”产品。而72层技术的稳定量产,意味着制造商解决了高深宽比刻蚀、材料均匀性等一系列工艺难题-6-7,为后续更高层数的堆叠铺平了道路。

对消费者选购SSD来说,了解这段历史能帮助你判断产品定位。采用早期72层技术的SSD现在可能已进入价格亲民区间,适合预算有限但对容量有要求的用户。而了解不同层数技术的特点,也能帮你在性能、耐久度和价格之间找到平衡。

其实,技术发展往往不是简单的“新旧替代”。就像汽车引擎从4缸发展到12缸,但不同缸数的引擎仍然在不同车型中各司其职一样,不同层数的3D NAND技术也在不同定位的存储产品中继续发挥价值。

网友“科技行业观察者”提问:
从72层到现在的300多层,3D NAND技术发展似乎遇到了瓶颈?厂商们除了堆层数,还有什么其他技术路线来提高存储密度?

你的观察非常敏锐!确实,单纯依靠增加堆叠层数已经遇到物理和经济的双重挑战。随着堆叠高度增加,制造过程中的刻蚀难度呈指数级增长,需要开发创新的工艺解决方案-6

制造商正在探索多种技术路线来突破这一瓶颈。晶圆键合技术是一个重要方向,即将存储单元阵列和外围电路分别制造在不同的晶圆上,然后通过精密键合技术将它们结合在一起-1。这种方法允许两部分独立优化,既能提高存储密度,又能增强读写性能。

另一个创新方向是存储原理的根本变革。研究人员正在探索用铁电薄膜替代传统的电荷捕获层-1。这种材料可以通过极化方向存储数据,工作电压更低,有助于解决随着层数增加而加剧的介质击穿问题。

在水平方向上,制造商也在不断优化单元结构和排列方式。比如铠侠公司就强调,他们不单纯追求堆叠层数的增加,而是寻找垂直压缩与横向压缩之间的最佳平衡-4

每个存储单元存储的比特数也在增加,从TLC(每单元3比特)到QLC(每单元4比特),再到正在研究的PLC(每单元5比特),这些都能在相同物理空间内存储更多数据-3

网友“行业分析师”提问:
中国存储企业在3D NAND领域的发展状况如何?他们与国际领先企业的技术差距有多大?国产替代的前景怎么样?

你提到了一个当前全球半导体行业都非常关注的话题。中国存储企业,特别是长江存储,近年来确实取得了令人瞩目的进展。

技术发展方面,长江存储已经实现了从追赶到并跑的转变。据报道,该公司已开始生产第五代294层堆叠的3D NAND产品-9。从层数来看,这已经接近国际领先水平。他们还计划在2025年推出3D QLC产品,并在2026年量产2TB容量级别的产品-9

供应链自主化方面,长江存储正在积极推进设备国产化。他们建设了一条仅采用中国制设备的试验线,计划在2025年下半年试生产-9。有报告显示,他们的设备国产化率已达到45%,领先于行业平均水平-9

当然,挑战依然存在。在先进曝光设备等关键领域,国内企业仍需要进口-9。新技术生产线的良率和稳定性还需要时间验证和完善。

从市场前景看,随着中国在物联网、汽车电子等领域的快速发展,对存储芯片的需求将持续增长。长江存储计划到2026年底挑战全球市场份额的15%-9,如果这一目标能够实现,将在一定程度上改变全球存储市场的竞争格局。

整体而言,中国存储企业正处在从技术追赶到市场拓展的关键阶段,未来发展值得密切关注。