在一块指甲盖大小的芯片上,能塞进多少记忆单元?答案正在从百亿级向千亿级迈进。

三星、铠侠、美光等巨头几乎瓜分了全球闪存市场,它们都在做同一件事:把记忆单元像搭摩天楼一样层层垂直堆叠起来-1

这就是3D NAND技术,它突破了平面微缩的物理极限,而其中的核心引擎,是一种名为全环绕栅极(Gate-All-Around, GAA) 的晶体管结构-6


01 平面困局

时间倒回几年前,那时候的闪存还在平面上做文章。制造商们拼命把电路刻得更细、更密,就像在有限的土地上拼命盖平房。

然而当工艺节点逼近20纳米甚至更小时,麻烦来了。单元间的干扰变得难以控制,电荷就像不安分的邻居,容易“串门”,导致数据出错-6

平面微缩不但技术挑战陡增,成本也越来越不划算-2。这时候,行业把目光投向了天空——与其在平面上拼命挤,不如向立体空间发展。

02 立体突围

3D NAND的基本思路很直观:把存储单元垂直堆叠起来。但怎么堆、用什么结构堆,却大有学问。3D NAND的GAA存储器 成为了主流选择,它采用了独特的垂直沟道设计-1

想象一下,在硅片上蚀刻出深孔,然后在孔内壁依次沉积多层材料,形成一个个圆柱形的存储单元串。关键之处在于,每个单元的栅极完全环绕着沟道,实现了极强的栅控能力-8

这种结构与逻辑芯片中讨论的GAA(水平沟道)有本质不同。3D NAND的GAA存储器 中的电流是垂直流动的,这使得它能够真正实现三维堆叠,而逻辑GAA更多是平面结构的增强版-1

03 技术心脏

这种全环绕栅极结构具体是怎么工作的?它主要分为两种材料体系:传统的浮栅型和目前主流的电荷捕获型-1

浮栅型使用多晶硅作为电荷存储介质,电荷存储在导体表面;而电荷捕获型则使用氮化硅,电荷被捕获在绝缘体内部-1

目前看来,氮化硅方案更受青睐,因为它更薄,可以在单位面积内集成更多存储单元,技术稳定性也更好-1

GAA结构的单元尺寸通常用4F²来衡量(F为特征尺寸),在100平方毫米的芯片面积上堆叠144层,就能实现约57.6Gb的存储密度-1

这是个什么概念?相当于在指甲盖大小的空间里,塞进了576亿个晶体管-1

04 另类挑战者

就在GAA结构主导市场的同时,一些创新的替代方案也在涌现。台湾的汉萨科技研发了扇型场效应晶体管结构,被称为FanFET-1

这种结构与GAA的圆柱形设计不同,采用六角最密排列,单元密度据称能达到GAA的两倍-1。在相同制程和堆叠层数下,FanFET的理论存储密度可达115.2Gb-1

不过,任何新技术从实验室走向大规模量产都需要跨越诸多障碍,包括制程成熟度、设备兼容性和生态支持等。目前GAA结构凭借其成熟的制程模块化和相对较低的开发成本,仍然是市场的主流选择-1

05 未来之路

随着堆叠层数不断增加,3D NAND技术面临新的挑战。当层数超过200层时,制造工艺变得异常复杂,需要500-600道工序-1

工艺腔室需要整合刻蚀和沉积功能,以处理复杂的三维结构;新材料如钼开始被探索用于互连,以降低电阻和功耗-4

人工智能和机器学习技术正在被引入存储器设计流程,帮助解决特征提取、设计优化等瓶颈,加速产品上市时间-9

可靠性始终是闪存技术的生命线。研究表明,通过优化氮化硅层的陷阱密度和能级,可以改善GAA结构的编程/擦除速度和数据保持特性-10


06 网友提问

问题一: 普通消费者能感受到3D NAND的GAA技术带来的具体好处吗?

当然能!最直接的体验就是花同样的钱能买到容量更大的固态硬盘。得益于GAA结构的3D NAND存储器,存储芯片的密度不断提升,成本持续下降。

现在1TB SSD的价格可能只是几年前的一半。你的手机能存储更多照片视频,笔记本电脑开机和加载程序更快,这些体验背后都有这项技术的支撑-1

问题二: 3D NAND的GAA和逻辑芯片(比如CPU)里说的GAA是一回事吗?

这是个很好的问题,但两者虽然名字相似,实质却大不相同。3D NAND中的GAA是垂直电流设计,存储单元像串糖葫芦一样垂直堆叠,电流上下流动-1

而逻辑芯片中的GAA(或称GAAFET)是水平电流设计,主要用于提高晶体管开关性能,不能像3D NAND那样真正实现多层堆叠-1。简单说,一个是为了堆得高,一个是为了跑得快。

问题三: 这项技术未来还会怎么发展?有没有物理极限?

行业正在向更高堆叠层数迈进,200层以上已成为新的竞技场-4。但挑战也随之增加:更深、更细的孔需要更精密的刻蚀技术;更多层数意味着更复杂的制程和更高的良率压力-1

材料创新是关键,比如探索新型电荷捕获材料和金属栅极-8。同时,架构创新也在继续,长江存储的晶栈(Xtacking)技术将存储阵列和外围电路分开制造再键合,提供了新的思路-6

物理极限总是存在的,但工程师们的创造力似乎总能找到新的突破口。


当一片小小的FanFET芯片就能存储2-4小时的4K影片时,我们才惊觉存储技术的进步已经如此迅猛-1

从2D到3D,从平面到立体,存储器的世界正在垂直生长。在这个每平方毫米都要计较的微观世界里,一场关于空间的革命正在悄然发生。