一片指甲盖大小的芯片里,正在上演一场垂直空间的疯狂竞赛,工程师们讨论的不再是能画多细的线,而是能盖多高的楼。

打开手机,拍下一张照片,这个动作的背后可能就涉及数亿次的数据写入。这些海量数据住在哪?答案就在那些我们几乎感觉不到,却至关重要的存储芯片里。

而当今存储世界的明星,非3D NAND闪存莫属。你可能不知道,这项技术的核心秘密,竟然和我们盖摩天大楼的逻辑惊人相似。


01 从平房到摩天楼:存储的空间革命

想想看,如果要在固定面积的土地上容纳更多人,你会怎么做?最简单的办法就是把房子盖高。这正是3D NAND制作的核心思路——当平面(2D)的存储单元缩小到十几纳米,几乎到了物理极限时,工程师们开始转向垂直发展-6

传统2D NAND就像一片平房区,存储单元整齐排列在平面上。而3D NAND则像是一座设计精巧的摩天大楼,存储单元一层层垂直堆叠起来-1

这种转变不仅仅是技术上的突破,更是思维方式上的革新。

如今的3D NAND芯片,尺寸大约只有12mm x 6mm,比我们的小指甲盖还小,却能在垂直方向上堆叠数百层存储单元-1。这种“高楼”结构,让存储密度实现了革命性提升,轻松超越了平面结构的物理限制。

02 建设难题:通往高层的精细活

3D NAND制作的过程,比建造真实的摩天大楼更加精密和复杂。这可不是简单的“往上垒砖”,每一个步骤都充满挑战。

其中一个最关键的步骤就是蚀刻——在堆叠好的数百层材料上,打出一个又深又直的微小孔洞,这个孔洞被称为“通道孔”-5。你可以把它想象成在大楼里垂直贯穿所有楼层的电梯井,它必须精确无误地从顶层直通底层。

随着层数增加,这个“电梯井”变得又深又窄,蚀刻的难度呈指数级增长。早期的反应离子蚀刻(RIE)技术逐渐力不从心,面临着蚀刻速度慢、精度不足的困境-5

更麻烦的是,当堆叠超过300层时,传统的制造架构遇到了系统性瓶颈。外围电路被构建在晶圆最底部,必须承受整个堆叠过程的高温考验,这导致晶体管性能退化和良率问题-9

03 技术破局:建造工具的革新

面对这些挑战,半导体设备商们开始了一场技术创新竞赛。针对高深宽比蚀刻的难题,低温蚀刻技术应运而生-5

这项技术的原理听起来有点“反常识”:通过将蚀刻温度降至零度以下(最低可达-70℃),在晶圆表面形成特殊的物理吸附状态,从而提高蚀刻速率和精度-5

Lam Research公司推出的Cryo 3.0技术就是一个典范。与传统工艺相比,它的蚀刻速度提高了2.5倍,而通道孔从顶部到底部的尺寸偏差小于0.1%-5。这种精度意味着什么?相当于在一根头发丝的横截面上,精确打出数十个完美垂直的深孔。

另一项突破性技术是混合键合,它彻底改变了3D NAND的制作范式。这项技术将存储单元晶圆和外围电路晶圆分开制造,然后通过纳米级精度的对准和键合技术将它们结合在一起-9

长江存储从2018年就开始将名为Xtacking的混合键合技术应用于64层NAND,这种“起步即采用先进架构”的策略,让其在这一领域积累了宝贵经验-9

04 行业竞赛:谁将引领下一波浪潮

全球主要的存储制造商正沿着不同的技术路径加速前进,目标都指向一个方向:更高的层数、更大的密度、更低的成本

SK海力士已经宣布量产321层3D NAND芯片,采用6平面设计,数据传输速度提升了一倍-2。而三星则计划在400多层节点采用混合键合外围单元架构,实现更高的接口速度-9

铠侠与西部数据联合开发的332层3D NAND,位密度提高了59%,接口速度达到4.8Gb/s-9。更令人惊讶的是,行业已经将目光投向了1000层以上的3D NAND,这将是现有技术的三倍多-5

在这场垂直竞赛中,中国长江存储的Xtacking技术展示了一种不同的创新路径。这种技术允许存储单元阵列和外围电路分别独立优化,然后通过数百万个金属接触点实现互连-8

这种设计的优势显而易见:外围电路可以使用最适合的逻辑工艺制造,而存储阵列则可以专注于堆叠更多层数,两者结合后,既能提高性能,又能降低功耗-9

05 AI时代:新需求推动新变革

3D NAND制作技术的飞速发展,与人工智能时代的存储需求密不可分。AI大模型的训练需要处理海量数据,对存储容量和速度提出了前所未有的要求。

根据市场研究,全球内存市场预计将从2024年的2455.9亿美元增长到2034年的4808.8亿美元,其中3D NAND技术的进步是主要推动力之一-4

企业级SSD市场,特别是面向AI服务器的存储解决方案,成为技术竞争的焦点。这些应用场景要求NAND闪存具备更高的容量密度、更快的接口速度和更好的可靠性-7

为了满足这些需求,NAND制造商不再仅仅追求层数的增加,而是更加注重架构创新。通过混合键合、多平面设计、接口优化等综合手段,在性能、功耗和成本之间寻找最佳平衡点-9


从几十层到几百层,3D NAND制作的技术演进路线清晰可见,而背后的技术挑战也愈加严峻。蚀刻精度要达到纳米级、堆叠层数要突破物理限制、新材料和新工艺要不断引入——这场垂直空间的竞赛,既是技术创新的比拼,也是对未来数据世界的布局和投资。未来,我们手中的小小设备,将能装下整个世界的数据记忆。

网友提问与解答

1. 网友“科技好奇君”提问:总听说3D NAND层数越多越好,现在都300多层了,有没有物理极限?还能继续堆到多少层?

这个问题问到点子上了!就像盖楼不能无限高一样,3D NAND的堆叠确实面临物理和经济的双重极限。从技术角度看,主要挑战有几个方面:一是蚀刻工艺的极限,当通道孔深宽比太高时,蚀刻均匀性和精度难以保证;二是应力累积问题,层数越多,材料间的热应力越大,可能导致结构变形或开裂-5;三是电性能退化,随着“电梯井”(通道孔)变深变窄,电子传输效率会下降,影响读写速度和可靠性。

但工程师们总有办法!目前行业已经瞄准了1000层以上的目标-5。怎么突破呢?主要有几个方向:一是串堆叠技术,不是一次性堆几百层,而是分几段堆叠,每段单独加工再组合,就像盖完一栋楼再在旁边盖一栋,然后通过特殊结构连起来-6;二是混合键合架构,把存储单元和外围电路分开制造再粘合,这样外围电路就不用忍受堆叠过程的高温考验-9;三是新材料和新工艺,比如Lam Research的低温蚀刻技术,能在零下70度的环境中实现更高精度的蚀刻-5

所以,虽然理论上堆叠层数会有上限,但以目前的技术进展来看,1000层应该不是终点。各主要厂商都已经制定了长期路线图,比如铠侠就计划到2031年量产超过1000层的3D NAND-9

2. 网友“存储小白”提问:经常看到QLC、TLC这些术语,它们和3D NAND层数有什么关系?我买SSD应该更关注层数还是这些参数?

哈,这个问题很实际!先说说它们的关系吧。3D NAND指的是结构,就是存储单元怎么排列(垂直堆叠);而QLC、TLC指的是每个存储单元能存多少位数据。TLC是每单元3位,QLC是每单元4位。所以一个是“房子盖多高”,一个是“每间房住几个人”,两者可以组合使用

现在的高层数3D NAND,比如SK海力士的321层产品,就是用的QLC技术-2。这种组合能实现超高密度,一个芯片就能做到2Tb的容量-2。但QLC也有缺点,主要是寿命和速度不如TLC。

那你买SSD该看什么呢?我的建议是结合使用场景

  • 如果是系统盘或经常写入的盘,优先考虑TLC产品,性能和寿命更有保障,层数200层以上的现代TLC SSD已经很不错了。

  • 如果是仓库盘,主要存电影、文档等不常改动的数据,高层数QLC SSD性价比很高,容量大价格低。

  • 不要只看层数数字,架构也很重要。比如长江存储的Xtacking架构,通过混合键合技术,即使层数不是最高,也能获得很好的性能-8-9

  • 关注实际性能参数,比如接口速度(像铠侠332层产品达到4.8Gb/s-9)、读写速度和耐久度指标。

3. 网友“产业观察者”提问:听说中国在3D NAND领域发展很快,长江存储的Xtacking技术到底有什么特别之处?在国际上是什么水平?

长江存储的Xtacking技术确实是中国半导体创新的一个亮点,它的核心思路很聪明:不走寻常路。当国际大厂还在传统架构上不断增加层数时,长江存储选择了一条不同的路径。

Xtacking技术的特别之处在于它的“分而治之”策略:把存储单元阵列和外围电路分别制造在两片独立的晶圆上,然后再通过数百万个微小的金属通道(称为“互联通道”)将它们像拼图一样精准地键合在一起-8-9

这种设计有几个明显优势:一是可以分别优化,存储单元晶圆可以专注于堆叠更多层,外围电路晶圆可以用更适合的逻辑工艺制造,互不干扰;二是提高了生产灵活性,两部分可以并行生产,缩短了制造周期;三是提升了性能,由于外围电路不受存储阵列制造工艺的限制,可以采用更先进的制程,从而提高I/O速度。

在国际上,Xtacking技术可以算是混合键合领域的早期实践者。长江存储从2018年量产64层NAND时就开始使用这项技术,积累了宝贵经验-9。而国际大厂如三星、铠侠等,是在层数突破300层后才开始转向混合键合架构-9

当然,也要看到,在绝对层数上,国际领先厂商如SK海力士(321层)、铠侠/西部数据(332层)仍然处于前沿-2-9。但技术竞争不仅仅是比层数,更是比架构创新、良率控制和成本效益。Xtacking技术让长江存储在这些方面形成了自己的特色和优势。

全球3D NAND战场正从简单的“层数竞赛”转向更复杂的“架构竞赛”-9,在这个新的竞争维度上,长江存储凭借早期布局,已经占据了一个有利位置。