霍宗亮在《中国科学》创刊75周年专刊中描绘了这样一幅图景:长江存储的晶栈架构正引领着全球3D NAND闪存技术的创新性发展-1

想象一下,十年前你的手机只能存储几十张照片,而如今却能轻松装下数万张高清图像和数百个应用。这背后的推手,正是从2D平面到3D立体的存储技术革命

2025年,长江存储凭借创新的Xtacking 4.0技术,成功实现267层3D NAND TLC芯片的规模化量产-2。这个数字不仅代表着技术的突破,更意味着我们日常生活中使用的每一个电子设备,都在悄悄地经历一场存储能力的“空间革命”。


01 技术转折,从平面到立体的必然选择

要理解3D NAND技术为何如此重要,得先看看它的前身——2D NAND遇到了什么麻烦。2D NAND就像在一片有限的土地上建平房,房子(存储单元)只能横向排列。

随着技术发展,“地皮”越来越贵,工程师们不得不想办法在同样面积上建更多“房子”。可问题是,当这些“房子”建得太密时,邻居之间的干扰就变得难以忍受-4

更糟糕的是,这种干扰直接影响了产品的可靠性-1。这就像住在隔音很差的公寓里,总能听见隔壁的动静,让人无法安心休息。

2013年,三星推出了全球首款V-NAND闪存,虽然只有24层,却标志着3D NAND技术从概念走向市场-7。这不是简单的技术升级,而是根本性的设计思路转变——从“如何把房子建得更小”变成了“如何把楼房建得更高”。

02 高楼如何起?3D NAND的核心原理

3D NAND这座“摩天大楼”到底是怎么建起来的呢?业内专家喜欢用一个生动的比喻:2D NAND就像平房小区,而3D NAND则是现代化高层住宅-10

实际的技术原理也很形象。工程师们首先将导体(硅,用作字线)和绝缘层(氧化硅)像千层饼一样交替堆叠起来。接着,他们使用先进的干法刻蚀工具向下钻孔,形成圆柱形孔-6

最巧妙的一步来了——在这些孔的侧壁上交替沉积氧化硅和氮化硅层,最后在多晶硅晶体管沟道位于所有层的中心-6。这种结构被工程师们亲切地称为 “通心粉沟道” ,因为它确实很像一根被多层材料包裹的意大利通心粉。

与传统2D NAND相比,3D NAND的存储单元尺寸更大,采用全环栅(GAA)结构,显示出改善的电特性-4。这意味着不仅存储空间增加了,数据存取的速度和稳定性也得到了提升

03 层数竞赛,存储界的“高楼大赛”

自从NAND闪存进入3D时代,层数竞赛就从未停止过。这就像一场全球范围内的“摩天大楼高度竞赛”,各大存储厂商都在拼命把自己的“楼”盖得更高。

2022年,美光率先宣布232层NAND闪存芯片量产,成为全球首款突破200层大关的固态存储芯片-7。紧接着,SK海力士宣布成功研发了全球首款238层NAND闪存-7

中国厂商也不甘示弱。长江存储在2025年不仅实现了超过200层的3D NAND闪存芯片小规模量产,其性能与功耗比甚至对标国际大厂同类产品-3。到了9月,更是凭借Xtacking 4.0技术,成功实现267层3D NAND TLC芯片的规模化量产-2

这场竞赛的背后逻辑很简单:层数越高,存储密度就越大,单位成本就越低。目前主流厂商正在推出超过300层氧化物/字线堆叠的3D NAND闪存芯片,预计到2030年,这一数字可能达到1000层-6

04 架构创新,不只是堆叠那么简单

如果以为3D NAND发展只是简单地把层数堆高,那就太小看工程师们的智慧了。真正的技术创新,往往藏在架构设计里。

长江存储的Xtacking架构就是其中的佼佼者。它采用 “阵列-逻辑分离” 的独特设计,通过晶圆对晶圆的混合键合技术,实现了高性能与高密度的结合-2

在最新的Xtacking 4.0版本中,铜-铜直接键合的对准精度被提升至次微米级别,这一突破优化了信号传输路径,还显著减薄了芯片厚度-2

铠侠的BiCS FLASH技术则展示了另一种思路。其第八代产品采用CBA(CMOS直接键合到阵列)架构,将存储单元和CMOS逻辑电路分开制造,然后再通过先进封装技术结合在一起-9

这种设计使得存储密度与性能实现双向提升,包括写入性能提高20%,读取速度提高10%,耗电量减少了30%-9

05 挑战与突破,高楼也有“地基问题”

当然,3D NAND技术的发展之路并非一帆风顺。随着层数不断增加,技术挑战也日益严峻。

最直接的挑战来自制造工艺。要在30微米厚的堆叠层中保持字线直径基本一致,已经相当困难-6。想象一下,在一栋极薄的高楼里,确保每一层的结构都均匀稳定,这需要极其精密的工程技术。

另一个问题是“单元间干扰”。当存储单元在垂直方向上被挤压得更近时,电荷迁移和静电耦合现象会更加明显-6。这就像高楼里邻居之间容易相互影响一样,需要更好的“隔音”措施。

imec在2025年提出了一种创新方案——在字线之间集成气隙-6。这些气隙的介电常数低于栅极间介质,能降低存储单元之间的静电耦合,从而减少干扰。实验表明,带有气隙的器件对相邻单元的干扰确实更不敏感-6

06 应用拓展,无处不在的3D存储

你可能不知道,3D NAND技术已经渗透到我们生活的方方面面。从口袋里的智能手机到路上的自动驾驶汽车,都能找到它的身影。

在消费电子领域,3D NAND闪存是智能手机和平板电脑的核心存储组件,占据全球3D NAND闪存市场最大的收入份额-3。随着5G手机的普及和AI功能的集成,这项技术显著提升了应用加载速度和多任务处理能力。

数据中心与云计算是另一个重要战场。企业级固态硬盘(SSD)利用3D NAND技术提高存储密度和性能,加速AI训练和大数据分析等数据密集型工作负载的处理-3

在汽车电子领域,随着自动驾驶辅助系统(ADAS)和车载信息娱乐系统的发展,行业对3D NAND闪存的需求快速增长-3。这项技术能够在极端温度下维持最佳性能,满足实时数据处理需求。

07 未来展望,不止于层数增加

展望未来,3D NAND发展将呈现出更加多元化的趋势。简单“加层”已难以维持良率和成本优势,异构结构等方式将成为新突破口-5

一些前瞻性研究正在探索彻底改变游戏规则的技术。2025年4月,复旦大学团队研制出“破晓(PoX)”皮秒闪存器件,其擦写速度可提升至亚1纳秒,相当于每秒可执行25亿次操作-5

这项技术性能超越了同技术节点下世界最快的易失性存储SRAM,未来可能彻底颠覆现有存储器架构,实现AI大模型的本地部署-5

接口技术也在快速发展。从SATA到PCIe,再到PCIe 4.0/5.0/6.0,传输速度实现千兆级别的飞跃;从AHCI到NVMe,再到CXL协议,推动闪存在数据中心、车载、边缘AI场景的主流化-5

3D NAND技术从解决2D NAND的物理极限问题起步,经过十多年的发展,已经彻底改变了数据存储的格局。

从最初的24层到如今的300层以上,这场“垂直竞赛”不仅提升了存储密度,更推动了整个半导体产业的创新。随着AI、物联网和自动驾驶等新技术的发展,对存储性能的需求只会增加不会减少。

3D NAND发展已经从单纯的技术竞赛,演变为推动数字时代前进的关键引擎。


网友提问:普通消费者怎么直观感受到3D NAND技术发展带来的好处?

多维度解答:作为普通用户,你可能已经享受到了3D NAND技术进步带来的多重好处,只是没意识到背后的技术支撑。最直接的感受就是手机存储空间的“廉价化”。回想五六年前,128GB手机还算大容量,现在256GB只是起步,512GB、1TB版本也日渐普及,价格却没成倍上涨。这背后正是3D NAND层数增加降低了每比特存储成本。

文件传输和加载速度的提升也显而易见。无论是手机开机、应用启动,还是大型游戏加载,速度都比几年前快了不少。这是因为3D NAND架构优化提高了读写性能,配合更快的接口标准,带来了流畅的使用体验。

还有就是设备续航的改善。新一代3D NAND芯片功耗更低,这对依赖电池的移动设备尤为重要。你可能会发现,同样容量的手机,现在的续航比几年前的产品更持久,部分功劳要归功于存储芯片的能效提升。

设备可靠性的增强也不容忽视。随着3D NAND技术的成熟,数据丢失、存储损坏的情况越来越少。这得益于电荷陷阱单元、更好的纠错机制和耐久性设计,让你珍贵的照片、文件更加安全。

网友提问:3D NAND技术层数会不会有物理极限?达到极限后怎么办?

多维度解答:这个问题非常专业,也是业界正在探索的前沿。从物理角度看,3D NAND层数确实存在多重限制。堆叠高度是一个明显约束——目前300层堆叠厚度已超过12微米-8,随着层数增加,垂直通道孔需要钻得更深,对蚀刻工艺是巨大挑战。

热管理是另一个限制。存储单元工作时会产生热量,层数越多,热量积累越严重,可能影响数据稳定性和器件寿命。应力控制也很关键——多层薄膜堆叠会产生内部应力,可能导致晶圆翘曲或结构失效。

不过工程师们已经想出了多种应对策略。架构创新是主要方向,如长江存储的Xtacking和铠侠的CBA技术,将存储阵列与外围电路分开制造再键合,缓解了单片集成的压力-2-9新材料应用也在探索中,如替代多晶硅的沟道材料、更薄的介质层等。

更有趣的是,三维集成技术可能突破平面堆叠的限制。通过将多个存储芯片垂直堆叠在一起,用硅通孔(TSV)技术互连,可以在不显著增加单片层数的情况下提升整体存储密度。存储级内存(SCM)等新型存储技术可能会与3D NAND形成互补,构建分层的存储体系。

网友提问:中国在3D NAND领域的技术水平如何?与国际领先企业相比有哪些优势和差距?

多维度解答:中国在3D NAND领域的发展可谓“后来居上,特色鲜明”。经过几年的快速发展,以长江存储为代表的中国企业已经跻身全球竞争行列。

从技术指标看,长江存储已实现267层3D NAND量产,层数上与国际领先的300层以上产品处于同一梯队-2。其独特的Xtacking架构通过晶圆键合技术实现了存储阵列与外围电路的分离制造,这一创新设计提供了更大的工艺灵活性和性能优化空间-1

应用适配方面,中国公司展现出快速响应市场需求的优势。针对国内庞大的消费电子市场和正在崛起的数据中心需求,本土企业能够更灵活地定制产品。产业链协同也在加强,从设备、材料到设计,国内生态逐步完善。

不过,客观差距仍然存在。制造工艺的成熟度和一致性方面,国际领先企业凭借更长时间的经验积累,在良率控制和成本优化上仍有优势。前沿技术布局上,如超1000层的技术路线、新型存储介质等,国际企业投入更早、布局更系统。

值得注意的是,中国3D NAND发展正面临供应链和国际环境的挑战。一些关键设备和材料受到限制,但这也倒逼了国产替代进程。长期来看,中国市场的巨大需求和政策支持为本土企业提供了独特的发展机遇,而如何平衡自主创新与国际合作,将是决定未来格局的关键。