在长江存储的实验室里,工程师们正将存储单元像建造摩天大楼一样层层叠加,这些比头发丝还细的垂直通道中,电荷正以纳米级的精度被捕获和释放。

如今,主流厂商推出的3D NAND闪存芯片已超过300层,研究人员的目标是在2030年前将这一数字推至1000层-1

这场存储技术的垂直竞赛背后,是AI时代数据爆炸的迫切需求。从智能手机到数据中心,再到汽车和物联网设备,存储层数的增加意味着每比特成本的降低和存储密度的提升


01 技术跃迁

从平面到立体的存储革命并非一蹴而就。早期2D NAND闪存通过在单层硅片上缩小晶体管尺寸来提高密度,但随着制程逼近物理极限,单元间的干扰问题变得难以控制-5

二维存储的瓶颈在2013年被打破,三星电子率先量产了世界首款24层3D NAND-9。这一转变不仅是层数的增加,更是整个制造工艺的范式转移——从以光刻为主导的平面微缩技术,转向以刻蚀为核心的三维集成技术。

电荷陷阱单元取代浮栅晶体管成为关键技术转折点。浮栅技术将电荷存储在导体中,而电荷陷阱单元则将电荷存储在绝缘体中-1

这一转变降低了存储单元之间的静电耦合,为更密集的单元排列铺平了道路

02 垂直挑战

随着层数不断增加,技术挑战也日益严峻。在30微米厚的堆叠层中保持字线直径基本一致,成为工艺上的巨大挑战-1

堆叠超过300层的3D NAND闪存芯片要求极高的沉积均匀性和深孔刻蚀精度。物理规律开始显现制约:当字线层厚度减小,栅极对沟道的控制能力减弱,不同单元间的静电耦合增强-1

更棘手的是横向电荷迁移问题。随着单元垂直尺寸缩小,存储单元内部捕获的电荷更容易从氮化硅层中迁移出来,直接影响数据长期保持能力-1。这些挑战促使半导体企业寻找创新解决方案。

03 创新架构

面对垂直扩展的挑战,产业界提出了多种创新架构。CBA技术将存储阵列和外围电路分开制造,然后通过混合键合技术连接-3

这种分离制造的方法使双方都能优化工艺,不仅提高了性能,还缩短了生产时间。实测显示,采用CBA架构的第八代BiCS FLASH写入性能提高了20%,读取速度提高了10%,而写入时的耗电量减少了30%-3

另一项突破是气隙集成技术。imec在2025年IEEE国际存储器研讨会上提出了一种独特方案,能在字线之间精确控制气隙位置-1。这些气隙的介电常数低于栅极间介质,有效降低了存储单元之间的静电耦合

04 层数竞赛

当前,3D NAND闪存的层数竞赛已进入白热化阶段。铠侠宣布其第十代BiCS FLASH将达到332层,预计2026年开始量产-10

这一技术突破使单位面积存储容量提升59%,数据传输速度改善33%,同时能耗降低-10

SK海力士则推出了321层QLC 3D NAND技术,采用6平面设计,使数据传输速度提升一倍,写入速度提高56%-8

这些高堆叠层数的3D NAND闪存芯片主要面向AI数据中心和企业级SSD市场。单个封装内堆叠32个芯片,就能实现8TB容量;多芯片组合则可构建高达256TB的企业级SSD-3

05 市场需求

AI技术的蓬勃发展正在重塑存储市场格局。到2026年,AI相关应用对NAND闪存的需求量有望达到数万亿GB,年复合增长率超过20%-7

AI训练和推理需要处理海量参数,对存储带宽和容量提出极高要求。例如,智能汽车每天产生的数据量可达4TB,而大型语言模型的参数规模已突破万亿级别-7

这种需求推动着存储技术向更高性能发展。HBF架构应运而生,它融合了3D NAND闪存和HBM的特性,专门为AI推理工作负载设计-4

HBF能在提供与HBM相当带宽的同时,以相似成本提供高达8-16倍的容量-4

06 未来趋势

未来几年,3D NAND技术将沿着多条路径继续演进。除了继续增加堆叠层数,行业还在探索“单元堆叠”技术,即将多个闪存器件彼此堆叠,以增加总层数-1

层叠技术允许企业分步骤制造存储单元,例如先组装250层存储单元,然后将四层堆叠成1000层的芯片-1。这种方法降低了制造难度和成本。

同时,材料工程正成为提升可靠性的关键。研究人员正在探索新型沟道材料和高κ介质材料,以提高单元电流和减少电荷损失-9

一些企业甚至开始研究非电荷基的新型存储技术,作为3D NAND的潜在替代方案-9


当铠侠的工程师在岩手县北上工厂调试332层NAND生产线时,SK海力士的321层QLC芯片已经准备出货。这场存储层的竞赛,胜者将赢得通往ZB级数据时代的门票

随着堆叠层数逼近500层,工厂车间的空气净化系统必须过滤掉比以往更多的微粒。技术员站在黄色光刻机前,注视着硅片上一层层生长的存储单元,它们最终将成为支撑某个AI模型记忆的物理基础。