打开手机查看存储空间不足的提示,你或许不知道,这场关于存储密度的技术革命早在芯片内部演进了十几年。
东芝在1989年提出NAND闪存时,这种存储技术基于平面结构,通过在硅片上缩小晶体管尺寸来提高存储密度-1。

然而当制程尺寸逼近物理极限时,二维闪存技术遇到了前所未有的瓶颈。单元间的串扰问题日益严重,可靠性面临严峻挑战-10。

从平面到立体的转变,绝非简单叠加。NAND闪存的基本工作原理基于浮栅晶体管结构,通过隧道效应实现数据擦写-1。
在2D NAND时代,技术路线相当直观——缩小、再缩小。工程师们不断减小晶体管尺寸和间距,就像在固定面积的土地上建造更多小平房。
这种发展模式持续了二十余年,直到遇到了物理规律的无情壁垒。随着元件间距不断缩小,存储单元之间的电磁干扰愈发严重-3。
电荷会从一个单元“泄漏”到相邻单元,导致数据损坏。更糟糕的是,尺寸的缩小使单个电子损失就会引起明显的阈值电压偏移-3。
当横向扩展遇到瓶颈时,工程师们将目光投向了垂直方向。三星电子在2013年率先量产了全球首款24层3D NAND产品-3。
这标志着NAND闪存技术正式从二维平面迈入三维立体时代。不同于2D NAND的“平房区”,3D NAND更像是现代化高层公寓楼。
在3D NAND架构中,存储单元被组织成垂直链,通过水平字线进行寻址-6。目前的先进产品已经实现了超过300层的堆叠-6。
这不仅仅是数量的增加,更是设计理念的根本转变。存储密度的提升不再依赖昂贵的光刻技术精进,而是转向了以刻蚀为核心的三维集成技术-10。
从浮栅到电荷陷阱的转变,是3D NAND成功的关键。传统浮栅技术使用导电材料存储电荷,而电荷陷阱单元则将电荷存储在绝缘氮化硅层中-6。
这一变化显著降低了存储单元之间的静电耦合,使更紧密的堆叠成为可能。电荷陷阱技术还带来了制造上的优势,为更高存储密度铺平了道路-6。
当前最先进的3D NAND采用全环栅结构,垂直的导电沟道被栅堆叠结构完全包围-6。
这种设计增强了栅极对沟道的控制能力,提升了器件性能。制造过程涉及交替堆叠导体和绝缘层,然后通过高深宽比刻蚀形成垂直孔道-6。
堆叠层数的增加带来了新的技术挑战。随着堆叠高度增加,垂直孔道的深宽比不断增大,使均匀刻蚀和材料填充变得异常困难-6。
目前的解决方案包括使用更先进的硬掩模材料和创新的金属填充工艺。应用材料公司开发的选择性硬掩模薄膜和接缝抑制钨技术,有效应对了这些挑战-2。
另一个关键难题是字线电阻的增加。随着堆叠层数增加,字线变得更长,导致电阻增大和RC延迟增加-3。
这会直接影响存储器的读写速度。一些厂商正探索使用低电阻率金属如钨替代多晶硅作为字线材料-3。
在全球半导体产业竞争白热化的背景下,中国科技企业也在3D NAND领域取得了突破。长江存储开发的晶栈架构是一种创新设计-10。
该技术将存储阵列和外围电路分别制造在不同晶圆上,然后通过垂直互连将其键合-10。这种方法允许独立优化存储单元和逻辑电路。
与传统一体化制造相比,晶栈架构能提高存储密度,缩短开发周期。它代表了3D NAND技术发展的一个新方向-10。
尽管面临技术挑战,3D NAND市场依然保持增长态势。2025年第二季度,NAND闪存产业营收环比增长22%,达到146.7亿美元-8。
三星以52亿美元营收稳居市场首位,主要受益于AI服务器对企业级SSD的强劲需求-8。
SK集团表现尤为亮眼,营收环比增长52.5%至33.4亿美元,创下历史新高-8。这一增长反映了市场对高密度存储解决方案的持续需求。
随着层数不断增加,3D NAND的成本结构也在发生变化。堆叠更多层数需要更复杂的制造工艺和更昂贵的设备-6。
面对堆叠层数持续增加的挑战,半导体行业正在积极探索全新路径。
一些研究机构正在开发气隙集成技术,通过在字线之间引入空气间隙来降低存储单元间的电磁干扰-6。
未来几年,我们可能会看到堆叠超过1000层的3D NAND产品,这需要在材料、工艺和架构上取得突破性进展-6。
当平面扩展遇到物理极限,NAND闪存与3D NAND的故事证明,技术突破往往来自思维方向的根本转变——当土地有限时,聪明的人类学会向上发展。
最简单的方法是查看设备规格或使用专业软件检测。对于固态硬盘,较新款且容量较大的产品(特别是2020年后购买的)很可能使用的是3D NAND。你可以留意产品描述中是否提及“3D NAND”、“V-NAND”或“多层堆叠”等关键词。
性能表现也是判断线索之一,3D NAND通常提供更高的读写速度和更长的使用寿命。如果你发现一个较小尺寸的SSD却有着超大容量(如M.2 2280规格达到4TB),这基本可以确定使用了高堆叠层数的3D NAND技术-6。
不完全如此。虽然增加堆叠层数能直接提高存储密度,但也带来了一系列挑战。随着层数增加,制造过程中的深孔刻蚀和材料填充变得更加困难,良率可能下降-6。
更重要的是,电气性能会受到影响。字线电阻随层数增加而上升,导致信号延迟;存储单元之间的干扰也会加剧-3。目前行业正在寻找平衡点,通过材料创新(如低电阻金属字线)和结构优化(如气隙隔离)来解决这些问题-6。
短期内3D NAND仍将是主流,但研究机构已在探索替代方案。随着堆叠层数向1000层迈进,制造成本和物理限制日益显著-6。学术界和产业界正在研究非电荷基存储技术,如相变存储器、磁性存储器和铁电存储器-3。
这些新兴技术各有优势,但在成熟度、成本和量产能力上还无法与3D NAND竞争。未来可能出现的是异构集成方案,将不同存储技术组合使用,而非简单替代-3。